pecvd問題總結(jié)

1、PECVD段問題總結(jié)段問題總結(jié)色差色差原因原因：片間色差主要是石英管兩邊功率不匹配，沒有達(dá)到一個平衡的狀態(tài)。片內(nèi)色差是石英管的一側(cè)功率過小造成的，石墨框的邊緣氮化硅沉積過厚導(dǎo)致硅片邊緣鍍膜偏薄，還有工藝腔掉片落在石英管上。解決方法解決方法：當(dāng)出現(xiàn)某一側(cè)硅片整體膜厚偏薄或偏厚時，就較少或增加對應(yīng)某一側(cè)的微波功率，每次調(diào)節(jié)幅度在100200W之間，觀察調(diào)試結(jié)果，若片間色差有所好轉(zhuǎn)就繼續(xù)加大調(diào)節(jié)幅度，若無明顯好轉(zhuǎn)，就調(diào)節(jié)另一側(cè)的微波功率。當(dāng)出

2、現(xiàn)中間一排或兩排鍍膜不均時，就加大兩邊微波功率，調(diào)節(jié)幅度是100200W，同時加大傳輸速度，幅度在12，若無明顯改善就減少兩側(cè)微波功率，調(diào)節(jié)幅度100200w，同時減小傳輸速度2cmmin左右。當(dāng)出現(xiàn)片內(nèi)色差時，當(dāng)是邊緣一豎排出現(xiàn)片內(nèi)色差，就加大某一側(cè)微波功率，無好轉(zhuǎn)就打開工藝腔看是否碎片落在石英管上。當(dāng)出現(xiàn)某一塊石墨框有片內(nèi)色差時，清理石墨框邊緣較厚的氮化硅，當(dāng)某一豎排出現(xiàn)片內(nèi)色差時，開蓋檢查工藝腔石英管上是否有碎片，并清理干凈。工藝

3、壓強不穩(wěn)定工藝壓強不穩(wěn)定原因原因：造成工藝壓強過大或波動很大的原因有以下幾種，真空濾網(wǎng)沒有清理干凈、蓋板的密封圈上有雜物、密封圈有破損、石英管有裂紋。解決方法解決方法：當(dāng)出現(xiàn)工藝腔真空波動較大時，一般是2號門、3號門密封圈上有雜物，還有一種原因就是真空濾網(wǎng)沒有清理干凈，這時我們需要用無塵布擦拭密封圈，開蓋清理真空濾網(wǎng)。當(dāng)出現(xiàn)真空抽不下時，根據(jù)不同情況做相應(yīng)不同的處理。當(dāng)真空在1mbar以上時，是比較大的漏真空，此時檢查是否有密封圈破損，

4、石英管是否有裂紋，發(fā)現(xiàn)有不符合要備件要即時更換，當(dāng)真空在0.11mbar之間時，檢查石英管是否有裂紋，密封圈上是否有明顯雜物，用無塵布清理密封圈，或更換好的石英管。當(dāng)真空在0.1mbar以下時開蓋用無塵布擦拭密封圈。卡盤卡盤原因原因：石墨條破損、出料腔真空抽不下、傳輸皮帶脫落、傳感器錯誤。解決方法解決方法：當(dāng)出現(xiàn)卡盤時，我們先查看報警記錄，如果是出料腔真空抽不下，使3號門不能正常打開導(dǎo)致的卡盤，需要檢查出料腔的密封圈和4號門的密封圈，發(fā)

5、現(xiàn)有破損的進(jìn)行更換。如果是由于傳感器錯誤造成的卡盤，需要打開蓋板，用吸塵器清理傳感器。然后查看各傳輸皮帶是否有脫落，發(fā)現(xiàn)有異常的皮帶進(jìn)行更換。待被卡盤的石墨框出來后，檢查石墨框的石墨條是否完整，發(fā)現(xiàn)有破損要進(jìn)行更換。最后開蓋檢查腔體內(nèi)是否凸起的部位阻止石墨框的傳輸。氮化硅膜表面有異物氮化硅膜表面有異物原因原因：進(jìn)料腔工藝腔內(nèi)有異物，加熱后分解到硅片表面，污染了硅片表面。石英管冷卻不好，表面纏繞的膠帶受熱分解污染了硅片表面。解決方法解決方

6、法：當(dāng)發(fā)現(xiàn)鍍膜后的硅片表面有污染物時，先要排除是前段造成的污染。然后檢查石英管風(fēng)冷情況，若發(fā)現(xiàn)石英管的排風(fēng)口風(fēng)量很小或沒有風(fēng)，就要請設(shè)備進(jìn)行維修。最后將工藝腔和進(jìn)料腔打開，看是否有塑料類廢棄物掉在腔體內(nèi)，造成了污染，若有將其清理干凈即可。鍍膜偏紅鍍膜偏紅原因：偏紅是氮化硅的厚度偏薄，是由于沉積的時間過短或微波功率偏小所致。解決方法：將傳輸速度減小，傳輸速度每減小1cmmin膜厚就會增加0.8nm左右。或者增加微波源兩側(cè)的微波功率。通常我