重慶化工職業(yè)學(xué)院（?？疲┊厴I(yè)論文

1、重慶化工職業(yè)學(xué)院（?？疲┊厴I(yè)論文1年產(chǎn)年產(chǎn)80008000噸多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅生產(chǎn)工噸多晶硅生產(chǎn)中三氯氫硅生產(chǎn)工藝的探討藝的探討摘要多晶硅生產(chǎn)技術(shù)是利用二氧化硅和碳粉在熔融狀態(tài)下進(jìn)行的還原反應(yīng)，以及在多晶硅生產(chǎn)技術(shù)中的各項(xiàng)工藝的探討，包括三氯氫硅的合成、三氯氫硅氫還原制備高純硅。關(guān)鍵詞：關(guān)鍵詞：三氯氫硅高純硅重慶化工職業(yè)學(xué)院（?？疲┊厴I(yè)論文31.引言20世紀(jì)50年代，聯(lián)邦德國(guó)西門子公司研究開(kāi)發(fā)出大規(guī)模生產(chǎn)多晶硅的技術(shù)，即通常所說(shuō)的西門

2、子工藝。多晶硅生產(chǎn)的西門子工藝，其原理就是在表面溫度1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純含硅反應(yīng)物，使反應(yīng)生成的硅沉積在硅芯上。改良西門子方法是在傳統(tǒng)西門子方法的基礎(chǔ)上，具備先進(jìn)的節(jié)能低耗工藝，可有效回收利用生產(chǎn)過(guò)程中大量的SiCl4、HCl、H2等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的多晶硅生產(chǎn)工藝。經(jīng)過(guò)半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，多晶硅的制備從生產(chǎn)技術(shù)、規(guī)模、質(zhì)量和成本都達(dá)到空前的水平，主要集中在美國(guó)、日本、德國(guó)三個(gè)國(guó)家。這三國(guó)幾乎壟斷了世界多晶硅市場(chǎng)

3、。多晶硅生產(chǎn)的技術(shù)仍在進(jìn)步發(fā)展，比如現(xiàn)在出現(xiàn)的硅棒對(duì)數(shù)達(dá)上百對(duì)的還原爐，可以使多晶硅的還原能耗降低到一個(gè)新的水平。（還原）多晶硅是由硅純度較低的冶金級(jí)硅提煉而來(lái)，由于各多晶硅生產(chǎn)工廠所用主輔原料不盡相同，因此生產(chǎn)工藝技術(shù)不同；進(jìn)而對(duì)應(yīng)的多晶硅產(chǎn)品技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)、產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)、用途、產(chǎn)品檢測(cè)方法、過(guò)程安全等方面也存在差異，各有技術(shù)特點(diǎn)和技術(shù)秘密，總的來(lái)說(shuō)，目前國(guó)際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有：改良西門子法、硅烷法和流化床法。改良西門子法是目