磁控濺射法生長ito薄膜及其在hit太陽電池中的應(yīng)用

1、中圖分類號：學(xué)校代碼：10055UDC：密級：公開碩士學(xué)位論文磁控濺射法生長ITO薄膜及其在HIT太陽電池中的應(yīng)用StudyofpropertiesofITOthinfilmspreparedbyDCmagronsputteringapplicationonHITsolarcells論文作者胡楠指導(dǎo)教師張德賢教授申請學(xué)位工學(xué)碩士培養(yǎng)單位電子信息與光學(xué)工程學(xué)院學(xué)科專業(yè)物理電子研究方向薄膜材料與器件答辯委員會(huì)主席李志青評閱人張建軍蔡宏琨南開

2、大學(xué)研究生院二○一五年五月萬方數(shù)據(jù)南開大學(xué)學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明南開大學(xué)學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行研究工作所取得的研究成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本學(xué)位論文的研究成果不包含任何他人創(chuàng)作的、已公開發(fā)表或者沒有公開發(fā)表的作品的內(nèi)容。對本論文所涉及的研究工作做出貢獻(xiàn)的其他個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。學(xué)位論文作者簽名：胡楠2015年5月27日非公

3、開學(xué)位論文標(biāo)注說明(本頁表中填寫內(nèi)容須打印)根據(jù)南開大學(xué)有關(guān)規(guī)定，非公開學(xué)位論文須經(jīng)指導(dǎo)教師同意、作者本人申請和相關(guān)部門批準(zhǔn)方能標(biāo)注。未經(jīng)批準(zhǔn)的均為公開學(xué)位論文，公開學(xué)位論文本說明為空白。論文題目申請密級□限制(≤2年)□秘密(≤10年)□機(jī)密(≤20年)保密期限20年月日至20年月日審批表編號批準(zhǔn)日期20年月日南開大學(xué)學(xué)位評定委員會(huì)辦公室蓋章(有效)注：限制★2年(可少于2年)秘密★10年(可少于10年)機(jī)密★20年(可少于20年)萬