摻鎳納米微粒hfo2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性

1、0010碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文摻鎳納米微粒摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性薄膜的電荷存儲(chǔ)特性論文作者：朱華星指導(dǎo)教師：邱曉燕副教授學(xué)科專業(yè)：凝聚態(tài)物理研究方向：納米薄膜存儲(chǔ)器件制備與性能提交論文日期：2016年4月20日論文答辯日期：2016年6月4日學(xué)位授予單位：西南大學(xué)中國(guó)?重慶2016年6月單位代碼10635____學(xué)號(hào)112013315001076萬(wàn)方數(shù)據(jù)目錄摘要.............................

2、..........................................................................................................IAbstract.........................................................................................................

3、..............................I第一章緒論...........................................................................................................................11.1非易失性存儲(chǔ)器件簡(jiǎn)介...............................................

4、...............................................11.2納米浮柵非易失性存儲(chǔ)器(NFGNVM)發(fā)展的趨勢(shì)和存在的問題.........................21.3納米浮柵非易失性存儲(chǔ)器的研究現(xiàn)狀......................................................................31.4在本文的研究中，隧穿控制層以及納米微粒電

5、荷存儲(chǔ)單元材料的選擇.............41.5本文研究的目的、意義和主要內(nèi)容..........................................................................5第二章薄膜制備，微結(jié)構(gòu)觀測(cè)和電學(xué)性能表征方法簡(jiǎn)介..................................................72.1薄膜的制備與沉積速率的標(biāo)定............

6、.......................................................................72.1.1薄膜的制備.........................................................................................................72.1.2射頻磁控濺射原理簡(jiǎn)介.................

7、....................................................................72.1.3沉積速率的標(biāo)定.................................................................................................82.2薄膜微結(jié)構(gòu)觀測(cè)、成分表征方法........................

8、.......................................................82.2.1原子力顯微鏡(AFM)原理簡(jiǎn)介..........................................................................82.2.2透射電子顯微鏡(TEM)原理簡(jiǎn)介................................................

9、......................92.2.3X射線光電子能譜儀(XPS)原理簡(jiǎn)介...............................................................92.3薄膜電學(xué)性能的測(cè)量及方法簡(jiǎn)介.............................................................................102.3.1薄膜MOS電容器結(jié)

10、構(gòu)CV特性曲線的測(cè)量與校正...................................102.3.2電荷存儲(chǔ)相關(guān)電學(xué)性能參數(shù)的提取...............................................................102.4薄膜MOS電容器結(jié)構(gòu)的漏電流電壓（IV）特性曲線測(cè)量................................11第三章?lián)芥嚰{米微粒HfO2薄膜的制備與微結(jié)構(gòu)

11、觀測(cè).......................................................123.1摻鎳納米微粒HfO2薄膜樣品的制備.......................................................................123.2摻鎳納米微粒HfO2薄膜的形貌、微結(jié)構(gòu)觀測(cè)與分析.........................................

12、..133.3本章小結(jié).....................................................................................................................14第四章?lián)芥嚰{米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性..............................................................154.1摻

13、鎳前后HfO2薄膜的介電性能對(duì)比.......................................................................154.2摻鎳前后HfO2薄膜的CV特性曲線的測(cè)量與分析..............................................154.2.1不同測(cè)量溫度的摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性.........................1

14、54.2.2摻鎳納米微粒HfO2薄膜MOS電容器結(jié)構(gòu)的能帶匹配圖..........................174.3摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)耐受性..........................................................184.4摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)時(shí)效性......................................................