感光HfO2凝膠薄膜的性能研究及微細(xì)圖形化.pdf

1、二氧化鉿以其良好的力學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)和光學(xué)性能而被廣泛地應(yīng)用于機(jī)械、電子、航空、航天和軍事等領(lǐng)域。特別是HfO2薄膜良好的光學(xué)性能和高的激光損傷閾值，使得其用作強(qiáng)激光系統(tǒng)和慣性約束聚變的光學(xué)薄膜元件時，具有重要的應(yīng)用前景。
　　本研究以四氯化鉿為前驅(qū)體，選擇β-二酮類的苯酰丙酮和1-羥基-2-萘乙酮作為感光修飾劑，分別和四氯化鉿進(jìn)行螯合反應(yīng)，配制得出兩種具有不同感光性能的HfO2溶膠，并利用浸漬提拉法制備了感光HfO2凝膠膜。結(jié)合紅

2、外分光光度計和紫外分光光度計對其感光性能進(jìn)行研究，結(jié)果表明HfO2/BzAcH凝膠膜和HfO2/HAN凝膠膜的最大紫外吸收峰分別處于336nm和392nm附近，隨著與之相匹配的紫外光的照射，吸收峰都逐漸減小，表明其具有良好的感光性。
　　基于該薄膜的感光特性，結(jié)合紫外掩模法分別對兩種凝膠膜進(jìn)行微細(xì)圖形加工，制備了較大周期的光柵圖形和發(fā)散型“太陽”圖形，表明HfO2/BzAcH凝膠薄膜和HfO2/HAN凝膠薄膜均具有良好的微細(xì)可加工