口腔材料表面氮化鋯薄膜制備工藝與性能.pdf

1、不銹鋼和鈷鉻合金是常用的口腔正畸材料，但是在臨床上容易引起使用者過敏以及表面顏色與牙齒色澤差別較大而不雅觀。本文通過直流和射頻濺射兩種方法在口腔用不銹鋼表面制得淡黃色氮化鋯薄膜。采用動態(tài)超顯微硬度計、掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡和X射線衍射儀研究了工藝參數(shù)(氮氣分壓、濺射功率、濺射時間、基體加熱溫度)對氮化鋯薄膜顏色、顯微硬度、粗糙度、結(jié)構(gòu)及表面形貌的影響。 研究結(jié)果表明：當爐內(nèi)氮氣分壓強為25％，直流功率為100W，基體加熱溫

2、度為200℃，濺射時間為10min，通過逐步調(diào)節(jié)氬氣與氮氣的比例可獲得成分均勻，膜層光滑致密，硬度高，結(jié)合力較好的淡黃色氮化鋯薄膜。當?shù)獨夥謮簭姙?5％，射頻功率為200W，基體加熱溫度200℃，濺射時間為30min，通過逐步調(diào)節(jié)氬氣與氮氣比例，可獲得成分均勻，膜層光滑致密，性能優(yōu)異的灰黃色氮化鋯薄膜。 對直流濺射而言，氮氣分壓減小、濺射時間和功率增加，薄膜顏色均會越變越深；對射頻濺射，氮氣分壓的影響很小。直流和射頻濺射氮化鋯薄