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1、電雹蟄⑧天洋大薯中國(guó)近代第一所★學(xué)碩士學(xué)位論文■■■一~一_________一學(xué)科專(zhuān)業(yè):測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器作者姓名:趙倍云指導(dǎo)教師:李艷寧副教授2006年1月ABSTRACTMicrocantileversarenano—sensingdeviceswithhig如sensi五vity,wideapplicatiousinmanyareassnchasthedetectiondeviceusedinatomicfoFeemicrosco
2、pythetransductiondeviceappliedinbiOSenSorsandSOonQualityfactorisaphysicalparameterofmicrocantfleverandanimportantpointerofttleperformanceofmicrocantileverQisinverselyproportionaltothesubjecteddampingofmicrocsutileverWheI
3、lamierocantileverworksintheliquidconditionthequalityfactordecreasesbecauseoftheeffectoftheliqmddampingFor鋤atomicforcemicroscopythedecreaseofqualityfactorofthekeysensingdevicethemicrocantileverwillincreasetheSCanspeedbutt
4、hesensifivityandresolutionofmicmcantlleverwilldecrease;howeverifqualityfactoristoohi曲,thenthestabilityofthemicrocantileverwflldecreaseaecerdmgly;forbiusensortheresolutionendsensitivityofmicrocantileverviilincreasebecause
5、oftheincreaseofthequalityfactorwhenthedynamicmodedetectionisusedInthisthesistllequalJtyfactorofthemicrocantileverbased01“1dynamicmodeofmicrocantileverisresearchedandadigitedqualityfactorcontrollingtechniqueisdesignedWbtr
6、iedtochangethedrivingforceandgetthevalueofqualityfactorTheexperimentresultsindicarethattllefunctionofdigltalcentreltechniquesailstiestllepresetrequirementofthewholesystemAndtheamplitudefrequencyenrveandthephasefrequencyc
7、nrveofmicrocantfleverwillchangeaccerdmglyintermofthequalityfactorThefollowingsarethemainachievementsofthisthesis:1Makeresearchonthemechanismofqualityfactorandprineiplesofcen自rollingqualityfactorbysolvingthestimulatedosci
8、llationequationofnucrocantilever;tIerelationofoscillatedmicrocantileverandexcitingforceisresearchedandthemodeltOcontrolquailtyfactorisdesigned2Basedondl季talcontroltechnologyasystemtocontrolqualityfactorisdevelopedandthec
9、orrespondingsystemcontrolsoftwareisdesignedVisualClanguageisappliedforsystemprogranumng3Thedesignedcontrolsystemofqualityfactorisappliedtothe肌erocanuleveLandaLasorDopplervibrometerisusedtoobtaini協(xié)oscfllationcurve;compari
10、sonsoftheexperimentalresultsoftheOScillationchiveofmicrocantileverwiththecontrolsystemofqualityfactorandwithoutthecontrolsystemaremadeThusthedynamiccontrolofquailtyfactorisrealized4Analysisoftheimpactofcircuittuningofthe
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