基于自相關(guān)測(cè)量方法的光電導(dǎo)開關(guān)設(shè)計(jì)與信號(hào)模擬分析.pdf

1、⑧天畢大謄十目mR一★碩士學(xué)位論文學(xué)科專業(yè)：測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器作者姓名：童重指導(dǎo)教師：劉慶綱副教授天津大學(xué)研究生院2008年5月中文摘要隨著科技的發(fā)展，超高速電子器件及光電子器件發(fā)展很快，特別是一些新的半導(dǎo)體材料制造技術(shù)的應(yīng)用，使得半導(dǎo)體器件的速度已達(dá)到幾個(gè)皮秒甚至亞皮秒。這些高速器件的帶寬，已經(jīng)遠(yuǎn)超過了傳統(tǒng)的純電子測(cè)量技術(shù)的能力，因此必須尋找新的測(cè)量方法。本文即根據(jù)此目的設(shè)計(jì)，結(jié)合傳統(tǒng)光刻工藝與原子力顯微鏡(AtomicForceMi

2、croscopyAFM)陽極誘導(dǎo)氧化加工技術(shù)，制作超快高性能的光電導(dǎo)開關(guān)，對(duì)開關(guān)的白相關(guān)測(cè)量方法進(jìn)行了研究，設(shè)計(jì)了光電導(dǎo)開關(guān)的自相關(guān)測(cè)量系統(tǒng)。本文的主要研究?jī)?nèi)容和研究結(jié)果如下：1分析總結(jié)了前人關(guān)于原子力顯微鏡氧化鈦膜的實(shí)驗(yàn)，找到用AFManr_氧化鈦膜的最佳實(shí)驗(yàn)條件：8V的直流偏壓，01l_ma／s的掃描速度，以及300／o50％的相對(duì)加工濕度。通過實(shí)驗(yàn)證明在上述條件下加工的氧化鈦線具有很好的連續(xù)性、均勻性和直線度：2通過比較各種常用光

3、電導(dǎo)材料和傳輸線樣式的優(yōu)缺點(diǎn)，針對(duì)我們要實(shí)現(xiàn)的功能，選定采用GaAs作為光電導(dǎo)開關(guān)的襯底，設(shè)計(jì)了專門針對(duì)光電導(dǎo)開關(guān)的自相關(guān)測(cè)量方法的開關(guān)的傳輸線版圖結(jié)構(gòu)；3結(jié)合自相關(guān)測(cè)量的工作原理，設(shè)計(jì)了光電導(dǎo)開關(guān)的自相關(guān)測(cè)量系統(tǒng)，包括：延遲采樣、微電流放大、鎖相信號(hào)檢測(cè)模塊的設(shè)計(jì)，并分析了測(cè)量系統(tǒng)的工作性能；4從理論上分析了開關(guān)的等效電路結(jié)構(gòu)，對(duì)光電導(dǎo)開關(guān)的信號(hào)產(chǎn)生門和采樣門的工作原理和輸出情況進(jìn)行了分析，并用MATLAB分別對(duì)其輸出信號(hào)進(jìn)行了模擬和