基于可編程邏輯控制器的MOCVD控制系統(tǒng)設(shè)計及研究.pdf

1、MOVCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)是一種高質(zhì)量的半導(dǎo)體材料生長技術(shù)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、納米材料等材料生長領(lǐng)域。本項目來源為陜西省自然基金資助項目。針對西安電子科技大學(xué)MOCVD系統(tǒng)，根據(jù)MOCVD系統(tǒng)工藝要求，進行了基于可編程邏輯控制器的MOCVD設(shè)計與研究。 針對第一代MOCVD系統(tǒng)的不足和缺陷提出了全新的設(shè)計理念。MOCVD控制系統(tǒng)選用西門子可編程邏輯控制器作為核心控制

2、器，設(shè)計了上位機監(jiān)控系統(tǒng)。反應(yīng)室的溫度控制設(shè)計了上位機加溫控器控制和底層PLC臨時托管兩種方式。提出了全新的軟件設(shè)計思想。主要設(shè)計了步序與循環(huán)控制、報警及故障處理、模擬量多路分時選擇輸入、模擬量平滑處理及輸出、中斷處理等子程序。并對軟件進行加密保護。為解決MOCVD設(shè)備溫度控制非線性、時變性以及大滯后等問題，提出改進的基于誤差反向傳播算法(BP)的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制方法。該方案較好地解決了系統(tǒng)中存在的非線性、大滯后、物理模型不精確等問題，對實