CCD圖像檢測系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦的研究.pdf

1、本文對CCD尺寸參量通用檢測系統(tǒng)中自動(dòng)調(diào)焦的方法進(jìn)行了深入的研究。
　　在基于圖像處理的CCD顯微圖像檢測系統(tǒng)中，用人工的方法進(jìn)行調(diào)焦常常會由于主觀因素而不能保證良好的調(diào)焦重復(fù)性。CCD應(yīng)用技術(shù)和微型計(jì)算機(jī)技術(shù)使自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)迅速發(fā)展，可以通過自動(dòng)調(diào)焦來保證高的重復(fù)性，因此，如何快速并有效的實(shí)現(xiàn)顯微自動(dòng)調(diào)焦是非常重要的。
　　文章首先總結(jié)了前人所作的大量工作，介紹了國內(nèi)外自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)的發(fā)展情況以及本課題所采用的CCD尺寸參量通

2、用檢測系統(tǒng)的組成原理。然后對常見的調(diào)焦評價(jià)函數(shù)按照頻域函數(shù)、灰度梯度函數(shù)、功率函數(shù)、信息學(xué)函數(shù)和統(tǒng)計(jì)學(xué)函數(shù)進(jìn)行了分類，并且通過大量的實(shí)驗(yàn)對這些函數(shù)的調(diào)焦特性進(jìn)行了對比分析，選擇出了具有較大調(diào)焦范圍的Variance函數(shù)、熵函數(shù)和Brenner函數(shù)作為本自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)的調(diào)焦評價(jià)函數(shù)。此外文章還討論了在可調(diào)焦范圍內(nèi)進(jìn)行焦點(diǎn)自動(dòng)搜索的方法，選用了逐次逼近法來進(jìn)行本系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)焦的控制。
　　本文還研制了能夠獨(dú)立工作的步進(jìn)電機(jī)控制系統(tǒng)和步進(jìn)電