超精密平面研磨劃痕形成的建模與仿真.pdf

1、超精密平面研磨是超精密加工中最重要的方法之一，在制造業(yè)占有非常重要的地位且有著廣闊的市場(chǎng)需求，探測(cè)器透鏡、計(jì)算機(jī)芯片等都是使用超精密平面研磨加工出來(lái)的。 平面研磨過(guò)程中，如果研磨工藝參數(shù)配置不合理，如磨料尺寸分散性較大、研磨壓力選用不合適等，會(huì)產(chǎn)生較深劃痕。這些劃痕不僅會(huì)損壞工件表面質(zhì)量，而且會(huì)影響工件的使用性能，導(dǎo)致工件在后續(xù)加工中產(chǎn)生破損。在平面研磨加工中，控制和減小劃痕是一個(gè)很重要的問(wèn)題。 本文對(duì)劃痕形成機(jī)理從力學(xué)

2、角度進(jìn)行分析研究，確定影響研磨劃痕的因素，并對(duì)這些影響因素，根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行隨機(jī)化處理。提出了磨粒尺寸敏感度的概念，用于定量地評(píng)價(jià)研磨系統(tǒng)避免劃痕產(chǎn)生的能力，對(duì)設(shè)計(jì)和使用研磨系統(tǒng)具有指導(dǎo)意義。 以磨粒尺寸敏感度模型為基礎(chǔ)，對(duì)研磨過(guò)程中磨粒壓入工件的深度進(jìn)行仿真分析，通過(guò)模型試驗(yàn)以了解劃痕在各種內(nèi)外因素變化下性能的變化規(guī)律，確定各工藝參數(shù)對(duì)研磨劃痕影響的大小，最終達(dá)到能指導(dǎo)實(shí)際加工的目的。 最后本文提出了一種帶彈性單元的研