甲基丙烯酸酯光刻膠的制備及在濾光膜中的應(yīng)用.pdf

1、彩色濾光片是液晶顯示器重要組成部件，發(fā)展液晶顯示器(LCD)產(chǎn)業(yè)，彩色濾光片技術(shù)是必須掌握的關(guān)鍵技術(shù)。彩色濾光片的技術(shù)重點(diǎn)又在于紅、綠、藍(lán)顏料光阻的研制和涂布工藝的研發(fā)。 本論文首先采用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和甲基丙烯酰氯三種單體進(jìn)行三元共聚，然后滴加烯丙醇與酰氯反應(yīng)制得側(cè)鏈上含有雙鍵的甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙酯三元感光共聚物。探討了引發(fā)劑濃度、聚合溫度、單體配比，對(duì)聚合反應(yīng)的影響，并且對(duì)聚合物的分子量、酸

2、值和玻璃化溫度進(jìn)行了檢測(cè)。結(jié)果表明，在引發(fā)劑濃度1％，溫度70℃，甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和甲基丙烯酰氯的單體配比為6:1:2的條件下，制得的甲基丙烯酸酯光刻膠具有較高的感光速度、優(yōu)良的操作寬度及抗蝕性能。 本論文通過(guò)溶解性、分光特性、感光度等方面對(duì)光刻膠中光引發(fā)劑種類和濃度進(jìn)行了選擇，并通過(guò)涂膜的平整性、有無(wú)針孔等性質(zhì)對(duì)溶劑類型進(jìn)行了選擇，利用測(cè)定感光度、粘附性、分辨率等手段對(duì)光刻膠中的成膜樹(shù)脂濃度進(jìn)行探討。配制了符合使用要

3、求的甲基丙烯酸酯光刻膠。結(jié)果表明，在光刻膠中光引發(fā)劑、成膜樹(shù)脂與溶劑的最佳配比為1:5:35。 另外，對(duì)光刻工藝中的基片處理、前烘、曝光、顯影、堅(jiān)膜等工藝進(jìn)行研究。得到了光刻最佳工藝條件。最佳光刻工藝條件為：前烘80℃、20min、曝光40s、顯影50s、堅(jiān)膜120℃、15min。 最后，根據(jù)分光特性和粒度對(duì)顏料進(jìn)行選擇，并對(duì)顏料細(xì)化工藝中研磨配方進(jìn)行了研究。通過(guò)透射電鏡觀測(cè)定顏料的粒徑大小。顏料的最佳細(xì)化工藝研磨配方為