基于PSD的顯微鏡定位技術(shù)研究.pdf

1、隨著對(duì)PSD器件的深入研究以及PSD信號(hào)處理器的發(fā)展，PSD已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。目前，在測(cè)量領(lǐng)域的應(yīng)用中，PSD已被應(yīng)用于微小距離的測(cè)量。但由于PSD制作工藝上仍存在一些不足，所以目前制造的PSD器件所存在的缺點(diǎn)是其輸出信號(hào)的線性度并不是很好，對(duì)微小距離的測(cè)量精度影響較大，但是可以通過(guò)PSD的信號(hào)處理器對(duì)其輸出信號(hào)進(jìn)行一定的非線性補(bǔ)償，減小非線性誤差。因此，通過(guò)對(duì)其輸出信號(hào)的處理實(shí)現(xiàn)測(cè)量精確度的提高的研究，對(duì)PSD在微小距離測(cè)量上的

2、應(yīng)用有著重要的意義。 顯微鏡是觀察樣本實(shí)驗(yàn)中常用的實(shí)驗(yàn)儀器，在對(duì)樣本觀察點(diǎn)進(jìn)行精確定位時(shí)，其移動(dòng)量通常在微小距離范圍內(nèi)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果受到定位精度的影響。本文介紹一種采用PSD及步進(jìn)電機(jī)的顯微鏡定位裝置；介紹了PSD信號(hào)處理方法，提出采用模擬電路計(jì)算光點(diǎn)坐標(biāo)，再通過(guò)在單片機(jī)中采用雙一次插值的方法對(duì)PSD的輸出信號(hào)進(jìn)行非線性處理。所述信號(hào)處理器應(yīng)能夠?qū)崿F(xiàn)觀察樣本的位置及位移量的實(shí)時(shí)顯示，從而讓操作人員可以通過(guò)讀取位移數(shù)據(jù)對(duì)樣本進(jìn)行精確定