基于計算機(jī)視覺的引線鍵合機(jī)定位平臺的運動學(xué)標(biāo)定.pdf

1、隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷向微細(xì)化、高速、高密度方向發(fā)展，開發(fā)高精度、高效率、高可靠性的引線鍵合機(jī)是對封裝設(shè)備制造業(yè)刻不容緩的要求。限制引線鍵合機(jī)定位在高速加工過程中正常工作的一個主要因素是其定位平臺的低精度，而影響其精度的一個重要因素是由于裝配過程中所引起的各種幾何誤差。計算機(jī)視覺技術(shù)近年來快速發(fā)展，研究成果豐碩，高性能的相機(jī)成為一種新的測量工具解決了諸多工業(yè)領(lǐng)域精確測量的問題。本文提出運用運動學(xué)標(biāo)定的原理，基于計算機(jī)視覺技術(shù)的測量方法，

2、通過辨識模型的幾何參數(shù)補(bǔ)償由其引起的誤差，從而提高引線鍵合機(jī)定位平臺的精度。本文分析了定位平臺的主要誤差源；利用計算機(jī)視覺技術(shù)進(jìn)行了相機(jī)的標(biāo)定，設(shè)計實驗分析評估了其精度，并且利用該相機(jī)完成測量任務(wù)；針對此引線鍵合機(jī)設(shè)計了標(biāo)定實驗分步對該引線鍵合機(jī)定位平臺的相關(guān)參數(shù)進(jìn)行辨識；利用辨識結(jié)果通過修正系統(tǒng)輸入對系統(tǒng)誤差進(jìn)行了補(bǔ)償，設(shè)計實驗并驗證了通過誤差補(bǔ)償可以提高系統(tǒng)的精度，從而說明了基于計算機(jī)視覺的運動學(xué)標(biāo)定技術(shù)應(yīng)用于該引線鍵合機(jī)的可行性和