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文檔簡介
1、激光直寫機是制作衍射光學元件的關(guān)鍵設備，離焦檢測技術(shù)是其中的重要單元技術(shù)之一。離焦檢測系統(tǒng)為聚焦伺服系統(tǒng)提供聚焦誤差信號，使寫入光斑經(jīng)過伺服控制后能夠精確聚焦于光刻膠表面，從而保證刻蝕質(zhì)量。
本文基于差動像散法對激光直寫系統(tǒng)中的離焦信號進行檢測，針對原有采集系統(tǒng)存在的信號采集同步性差、實時性低的問題，提出了基于DSP的同步信號采集技術(shù)，由DSP控制CPLD同時觸發(fā)四路AD采集信號，得到聚焦誤差信號與離焦量的對應關(guān)系，實現(xiàn)離焦誤
2、差信號的多路同步、實時、高精度采集。
本文基于TMS320LF2407A芯片實現(xiàn)了采集電路的軟硬件設計。采集電路系統(tǒng)由DSP、CPLD、光電信號轉(zhuǎn)換和放大、AD轉(zhuǎn)換器、存儲器和DA轉(zhuǎn)換器等部分組成。重點介紹了采集電路的硬件設計和軟件的實現(xiàn)，給出了相應的硬件原理圖和軟件流程圖。
在以上研究工作的基礎上，搭建了光學實驗平臺并進行了實驗測試，測試結(jié)果表明，該采集系統(tǒng)消除了激光光強不穩(wěn)定等因素對聚焦誤差信號的影響，提高了系統(tǒng)
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