基于FPGA的差動像散離焦信號的檢測和處理技術.pdf

1、離焦檢測技術作為單元技術之一，在制造二元衍射光學元件的激光直寫系統(tǒng)中發(fā)揮著至關重要的作用。本文以像散原理為理論基礎，結合差動技術，對激光直寫系統(tǒng)工作中產生的離焦誤差信號進行檢測與處理，主要分為原理介紹，硬件設計和軟件設計三個方面：
　　 原理介紹部分詳細闡述了運用差動像散法檢測離焦信號的基本原理及基于此原理設計的差動像散離焦信號檢測光學系統(tǒng)總體設計方案，選取了合適的光學元件并對其中的關鍵參數(shù)進行了仿真、對比，甄選出合適的參數(shù)完成

2、設計。
　　 硬件部分以FPGA芯片為核心，集成了信號采集、預處理模塊，A-D(模數(shù))轉換模塊，數(shù)據(jù)傳輸模塊三大部分。信號采集、預處理模塊包括光電信號的轉換及電信號的流-壓轉換單元，低通濾波單元；A-D轉換和數(shù)據(jù)傳輸部分都在FPGA的控制下完成模擬信號到數(shù)字信號的轉換以及數(shù)字信號的傳輸工作。AD模數(shù)轉換器采用四通道同時采樣依次轉換工作方式的AD7865，既節(jié)省了空間又提高了數(shù)據(jù)轉換的精度；數(shù)據(jù)傳輸采用USB模式，提高了數(shù)據(jù)傳輸?shù)?/p>