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文檔簡介
1、STM具有原子量級的分辨率，在納米檢測、納米電子學(xué)、納米材料等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。將DSP與STM相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)STM儀器的全數(shù)字化，使得儀器結(jié)構(gòu)更加簡潔、性能更加穩(wěn)定、功能更加靈活，是STM儀器發(fā)展的一個(gè)重要方向。 本論文設(shè)計(jì)研制了一套基于DSP的數(shù)控STM，它采用TMS320VC5416做主處理器，全面負(fù)責(zé)STM掃描成像的整個(gè)過程，包括X、Y向掃描控制和Z向高度反饋控制，以及隧道電流采集等，同時(shí)通過串口把圖像數(shù)據(jù)傳送給計(jì)算機(jī)進(jìn)行后
2、期處理、顯示和存儲，極大地減輕了計(jì)算機(jī)的負(fù)擔(dān)。在所研制的數(shù)控STM中，我們采用轉(zhuǎn)換時(shí)間為21ns的14位D/A轉(zhuǎn)換器AD7840和轉(zhuǎn)換時(shí)間為30ns的12位D/A轉(zhuǎn)換器AD565分別控制STM壓電陶瓷管的X、Y和z向高精度運(yùn)動，同時(shí)采用轉(zhuǎn)換時(shí)間為1.6us的12位A/D轉(zhuǎn)換器MAX120來采集隧道電流，用CPLD控制整個(gè)掃描成像過程，使得X、Y向掃描精度達(dá)到0.1nm，Z向控制精度達(dá)到0.01nm，反饋控制速度達(dá)到500KHz，滿足ST
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