反應(yīng)性射頻濺射制備電致變色NiO-,x-薄膜的研究.pdf

1、電致變色指在外加電場(chǎng)和電流的作用下材料的光學(xué)特性產(chǎn)生可逆變化的現(xiàn)象，在外觀上表現(xiàn)為從著色態(tài)到透明態(tài)或者從一種顏色到另外一種或幾種顏色的可逆變化。電致變色材料具有開路記憶能力強(qiáng)、功耗低、能與集成電路兼容、無視角、工作溫度范圍寬、可獲得中間態(tài)、價(jià)格低廉等特點(diǎn)。在顯示器件，智能節(jié)能窗，無眩光反光鏡，光電化學(xué)能轉(zhuǎn)化器和存儲(chǔ)器等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。目前為止發(fā)現(xiàn)許多材料都具有電致變色特性，其中研究較為廣泛的是WO<,3>和NiO<,x>。氧化鎳

2、是一種典型的p型半導(dǎo)體陽極致色材料。它在可見光區(qū)具有較寬的光調(diào)制范圍和高的致色效率，且在著色態(tài)時(shí)為中性的灰色，可以與WO<,3>等陰極致色材料一起組成互補(bǔ)型電致變色器件，它的研究近年來受到越來越多的重視。 氧化鎳的制各方法主要有陰極電解沉積和陽極氧化等化學(xué)方法以及電子束蒸發(fā)和濺射等物理方法。在本論文中我們采用反應(yīng)性射頻濺射制備氧化鎳電致變色膜。在不同的氧分壓條件下制備出了氧化鎳膜，然后又在不同的溫度下對(duì)膜進(jìn)行了熱處理。通過XRD