熱處理對(duì)SiO-,2--Al-,2-O-,3--MgO-La-,2-O-,3--ZnO系微晶玻璃微波介電性能的影響.pdf

1、本文選擇SiO<,2>-Al<,2>O<,3>-MgO-La<,2>-<,3>-znO系微晶玻璃作為基礎(chǔ)體系，通過調(diào)整ZnO含量及采用不同的熱處理方式，應(yīng)用微波微擾法測(cè)量樣品的微波介電性能，結(jié)合X射線衍射分析和掃描電鏡，對(duì)樣品進(jìn)行晶相分析，并闡述了它們之間的關(guān)系。 樣品的微波介電性能受晶化后所析出晶相的控制。影響其介電性能的根本因素是最終樣品中析出的晶相及其相對(duì)含量。通過對(duì)樣品的晶相分析表明，隨ZnO含量的增加和600℃保溫時(shí)間

2、的延長(zhǎng)，晶相MgSiO<,3>和Mg<,2>La<,4>Ti<,3>Si<,4>O<,22>在樣品中的相對(duì)含量逐漸降低，晶相ZnAl<,2>O<,4>在樣品中的相對(duì)含量逐漸升高；通過對(duì)樣品微波介電性能的測(cè)量表明，樣品的相對(duì)介電常數(shù)隨ZnO含量的增加而增大，介電常數(shù)溫度系數(shù)隨ZnO含量的增加和600℃保溫時(shí)間的延長(zhǎng)而降低。因此晶相MgSiO<,3>和Mg<,2>La<,4>Ti<,3>Si<,4>O<,22>具有較低的介電常數(shù)和較高的介電

3、常數(shù)溫度系數(shù)，而晶相ZnAl<,2>O<,4>則具有較高的介電常數(shù)和較低的介電常數(shù)溫度系數(shù)。 通過改變ZnO的含量和600℃的保溫時(shí)間，可以得到介電常數(shù)溫度系數(shù)在115～-175ppm/℃之間可調(diào)的樣品。實(shí)驗(yàn)中得到了性能優(yōu)異的樣品，其中znO含量14wt％，600℃保溫7h后850℃保溫40h：ε<,1>=14.301；Q=1437；τ<,ε>=2.5ppm/℃；ZnO含量15wt％，600℃保溫5h后850℃保溫40h：ε<,