基于光譜色散線掃描的干涉型納米表面在線測量原理與實驗研究.pdf

1、納米技術(shù)是在近乎原子尺度上研究物質(zhì)的特性及物質(zhì)間相互作用的前沿技術(shù)。隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，納米技術(shù)涉及到機械、材料、生物、化學(xué)等越來越廣泛的領(lǐng)域，對于納米測量的需求越來越多，對于納米測量的精度要求也越來越高。在納米測量技術(shù)中，光學(xué)干涉測量技術(shù)是最重要的技術(shù)之一。典型的光學(xué)干涉測量技術(shù)有雙頻激光干涉儀法，激光偏振干涉儀法、光柵干涉測量法、F-P干涉儀法、x射線干涉儀法等。 本文提出了一種基于光譜色散線掃描的干涉型納米表面三維在線

2、測量系統(tǒng)，并進行了實驗研究。該系統(tǒng)利用光譜色散線掃描方式對納米表面進行測量，相對于點掃描測量方式，該方法測量速度快，掃描機構(gòu)簡單，光源光譜的漂移對測量結(jié)果沒有影響。 本論文工作對線掃描干涉系統(tǒng)、光柵光譜色散、CCD圖像探測器、LabVIEW數(shù)據(jù)采集分別進行了理論分析及實驗研究。分別進行了兩種不同波段（655nm、1545nm）的光柵光譜色散、干涉、CCD接收和數(shù)據(jù)采集，包含兩種波長的激光器、兩種參數(shù)的光柵、三種CCD傳感器和一臺