生物芯片掃描儀運動工作臺控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、激光共聚焦生物芯片掃描儀是一種光、機、電一體化的高精密生物芯片檢測儀器。隨著生物芯片點樣技術(shù)的不斷進步，生物芯片上的點陣越來越密集，掃描分辨力的要求也越來越高，掃描工作臺作為提高掃描分辨力的核心部件，其定位精度也逐漸提高。本文針對激光共聚焦生物芯片掃描儀的掃描工作臺，對其交流伺服系統(tǒng)進行研究。 （1）根據(jù)掃描工作臺所要達到的性能指標和運動方式確定工作臺的機械結(jié)構(gòu)，并對工作臺各組件進行設(shè)計選型。 （2）對工作臺的傳動機構(gòu)的

2、轉(zhuǎn)動慣量進行計算，對交流伺服電機選型。分析和比較了電機在工作模式下的速度曲線，即梯型、S型和指數(shù)型加、減速的速度曲線，對電機在S型加、減速工作模式下的加、速時間進行計算。 （3）在分析和比較了PID控制、積分分離型PID控制、二自由度PID控制、Smith預估控制、內(nèi)?？刂频瓤刂撇呗?，并考慮設(shè)計掃描工作臺控制系統(tǒng)的復雜性和可實現(xiàn)性，采用全閉環(huán)的三環(huán)控制方案，即電流環(huán)的PI控制、速度環(huán)的內(nèi)?？刂啤⑽恢铆h(huán)PI控制的控制方案，建立各控