GaAs金字塔狀微探尖的制備與改進(jìn).pdf

1、掃描近場光學(xué)顯微術(shù)(Scanningnear-fieldopticalmicroscopy，簡稱為SNOM)是一種在近幾十年來取得快速發(fā)展的新興技術(shù)。它突破了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡由于光的衍射效應(yīng)產(chǎn)生的分辨率限制，分辨率可達(dá)入射光波長的十幾分之一，甚至幾十分之一，實(shí)現(xiàn)了納米量級的光學(xué)成像。因此，SNOM不僅在物理、化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、材料和微電子學(xué)等研究領(lǐng)域有重要的應(yīng)用價(jià)值，而且會(huì)對醫(yī)學(xué)及信息技術(shù)產(chǎn)生重大影響。SNOM最重要的潛在應(yīng)用領(lǐng)域之一就是

2、超高密度光信息存儲。于是，一種用于此目的的并以垂直腔表面發(fā)射激光器(Vertical-CavitySurface-EmittingLaser，簡稱為VCSEL)為基礎(chǔ)構(gòu)造的掃描近場光學(xué)傳感器的新概念應(yīng)運(yùn)而生。這種集成式傳感器是一種微型單片集成式傳感器，它由三個(gè)基本單元構(gòu)成，分別是PIN探測器、垂直腔表面發(fā)射激光器和金字塔狀GaAs微探尖。其中金字塔狀GaAs微探尖是保證整個(gè)系統(tǒng)分辨率和性能的關(guān)鍵部件，它的質(zhì)量和性能將直接影響整個(gè)掃描近場

3、光學(xué)顯微系統(tǒng)。因此，如何制備具有高質(zhì)量的金字塔狀GaAs微探尖已經(jīng)成為近年來的研究熱點(diǎn)。 本文詳細(xì)介紹了選擇性液相外延法制備金字塔狀GaAs微探尖的工藝流程，包括掩膜的制備、光刻、濕法刻蝕、液相外延等等。介紹了采用兩種不同的石墨舟，改變生長液脫離襯底的方式來生長金字塔狀GaAs微探尖：使用傳統(tǒng)的水平式石墨舟是在金字塔狀GaAs微探尖生長結(jié)束后，將生長液因水平推力的作用離開GaAs襯底；而使用旋轉(zhuǎn)式石墨舟則是在金字塔狀GaAs微探