集成溫度壓力傳感器應(yīng)用研究——輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)是一種通過放置于汽車輪胎內(nèi)的壓力傳感器實現(xiàn)監(jiān)測輪胎壓力情況的系統(tǒng)，主要用于防止輪胎壓力異常導(dǎo)致的交通事故。因此研究輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)具有重要意義。 本論文設(shè)計了基于氮化硅薄膜的溫度、壓力集成傳感器。考慮到MEMS加工工藝兼容性：溫度檢測采用熱敏電阻；氣壓檢測采用應(yīng)變電阻法檢測。這種設(shè)計方案結(jié)構(gòu)簡單、制作工藝易于實現(xiàn)。對設(shè)計方案進行了理論分析和模擬，制做了集成溫度、壓力傳感器芯片，試驗了多種工藝方案。 還設(shè)計

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