納米多孔氧化鋁薄膜制備工藝的研究.pdf

1、近年來納米級多孔陽極氧化鋁膜制備和應用越來越受到人們的關注。這種具有納米孔結構的氧化薄膜由于具有特殊的性能而被廣泛地應用于超微過濾和催化反應器，電解質的質子交換膜，微電子及電容器件，制備納米材料的模板。 本論文采用二次陽極氧化方法制備了具有納米級的多孔陽極氧化鋁薄膜(Anodized Aluminum Oxide)，并對陽極氧化條件對氧化鋁膜的結構及形成的過程的影響進行了研究。同時對多孔陽極氧化鋁膜的性能及應用進行了論述。

2、 采用不同濃度的草酸溶液作為電解液，通過二次陽極氧化，在鋁管內壁制備出了孔徑從30-70nm的具有規(guī)則納米孔陣列結構的氧化鋁薄膜。利用掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等，對氧化鋁薄膜的微觀形貌進行了觀測和分析。在多孔陽極氧化鋁膜的制備過程中，采用了幾組不同的工藝參數(shù)(電解質溶液濃度、電解電壓、氧化時間、電解溫度)用以考察這些工藝參數(shù)對于多孔薄膜組織形貌和力學性能的影響。 結果表明：通過二次陽極氧化制備的多孔陽極氧化鋁薄膜，孔為六角