微F-P腔可調(diào)諧濾波器的研究.pdf

1、微Fabry-Perot腔可調(diào)諧濾波器在超光譜成像、密集波分復用的光通信系統(tǒng)中有廣泛的應用前景。它克服了傳統(tǒng)濾波器體積大、功耗高、價格昂貴等缺點,具有調(diào)制速度快、光譜調(diào)節(jié)范圍大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。隨著微加工技術、微結(jié)構技術的采用,微Fabry-Perot腔可調(diào)諧濾波器有了新的發(fā)展方向。采用微加工技術將硅薄片鍍上金屬,制成采用靜電力驅(qū)動的微F-P腔可調(diào)諧濾波器,實現(xiàn)光束濾波功能。
　　本文著重從基于硅基片上的微F-P腔可調(diào)諧濾

2、波器陣列的理論、結(jié)構模擬和制作工藝方面開展工作,主要內(nèi)容包括:
　　(1)從光學角度分析了微F-P腔的工作原理,根據(jù)設計要求計算F-P腔光學薄膜的光學參數(shù),設計了5層結(jié)構的Ge/ZnS光學膜系,在3~5μm工作波長內(nèi)達到反射率80％的要求;
　　(2)提出了四種典型的F-P腔支撐結(jié)構,在結(jié)構與電場的耦合場中采用有限元方法分別分析了四種結(jié)構的電壓-位移關系、位移對平行度的影響,通過比較為濾波器支撐結(jié)構的優(yōu)化設計提供理論基礎;<