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文檔簡介
1、基于MEMS加工工藝制作的微Fabry-Perot可調(diào)諧濾波器在超光譜成像、密集波分復(fù)用的光通信系統(tǒng)中有廣泛的應(yīng)用前景。它與其他可調(diào)諧濾波器相比，具有體積微小，易與激光器、探測器或調(diào)制器集成、可調(diào)諧光譜范圍大，光譜分辨率高、采用批量制造可以大幅的降低成本等優(yōu)點。本文以該型濾波器作為研究對象，從理論研究、結(jié)構(gòu)設(shè)計、仿真分析到最后的工藝制備，都進行了探索。主要內(nèi)容包括：
1．本文從F-P 濾波器的一般原理出發(fā)，依據(jù)器件的參數(shù)要
2、求，設(shè)計了整個F-P 腔的光學(xué)結(jié)構(gòu)。在整個3-5μm的光譜調(diào)諧范圍內(nèi)，峰值透過率都保持在88％-96％，半高寬（FWHM）保持在107-147nm。并討論了在短腔條件下器件的一些特性。
2．從常見的設(shè)計中擇優(yōu)選出微F-P 腔的支撐結(jié)構(gòu)。利用有限元分析的方法，對設(shè)計的微橋結(jié)構(gòu)進行了驅(qū)動性能模擬，并分析了器件的平行度和穩(wěn)定性。模擬結(jié)果為，該結(jié)構(gòu)在29V的驅(qū)動電壓下，可以達到542.9nm的調(diào)諧范圍。
3．采用表面
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