基于納米技術(shù)的新型界面散熱材料.pdf

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的迅速發(fā)展，集成電路器件的集成度越來越高。跟著不斷增強(qiáng)的功能而來的是不斷提高的功率和熱量，因此良好的散熱對(duì)于半導(dǎo)體器件和產(chǎn)品的可靠性具有關(guān)鍵性的意義。 本論文立足于改善和增強(qiáng)半導(dǎo)體散熱技術(shù)的目的，旨在開發(fā)新一代納米級(jí)界面散熱材料(Nano-Thermal Interface Material)。論文采用靜電紡絲(Electrospinning)技術(shù)將高導(dǎo)熱的聚亞安酯(Polyurethane，PU)制備成界面散熱材

2、料的納米纖維基底，并在此基礎(chǔ)上研究了添加不同顆粒及顆粒不同質(zhì)量百分比對(duì)制備工藝和散熱性能的影響，并進(jìn)一步研究了在納米纖維無紡布添加填充材料的制備工藝。 論文根據(jù)美國ASTM E1530標(biāo)準(zhǔn)研制一個(gè)具有足夠精確度的熱性能測(cè)試臺(tái)，用以測(cè)量薄膜材料的導(dǎo)熱率和熱阻。同時(shí)，使用掃描電鏡(SEM)研究了材料的結(jié)構(gòu)特性，使用Instron力學(xué)測(cè)試儀研究了材料的力學(xué)性能，通過壓汞儀研究了材料孔隙率的孔徑分布，使用微分掃描儀(DSC)和熱重分析儀