離子注入下鐵電薄膜的反鐵電現(xiàn)象及其機理研究.pdf

1、鐵電薄膜有著非常廣泛的應用，利用鐵電薄膜的極化取向隨外場的方向而發(fā)生的變化以及極化在外場之后的保持特性，能夠應用于存儲領域，如鐵電非揮發(fā)薄膜隨機存儲器件；利用鐵電薄膜晶體的壓電特性，可以應用在傳感器領域，如懸臂梁，壓力傳感器；利用鐵電薄膜的熱電特性，可以做出非制冷紅外探測器件。和傳統(tǒng)類似器件相比較，鐵電晶體具有自己獨特的優(yōu)勢，如操作的可靠性高，器件響應速度快等。優(yōu)化各種鐵電器件的性能，是開展鐵電薄膜研究工作的動力。開發(fā)出不同的鐵電薄膜系

2、列，是為了實現(xiàn)薄膜某一方面特殊性質在應用上的最大化。
　　 本文是關于離子注入下鐵電薄膜的反鐵電現(xiàn)象的深入研究，反鐵電薄膜主要的價值在于能用在高電荷密度存儲器件領域，但是反鐵電薄膜的制備是受到固有反鐵電材料種類的限制，普通的反鐵電薄膜和鐵電薄膜在制備上工藝和材料組分不同。反鐵電薄膜所擁有的材料組分選擇余地很小，例如在PZT中，鋯Zr和鈦Ti的比例只能在95:5到99:1之中，一旦超過這個范圍，鐵電薄膜就不顯反鐵電特性。
　

3、　 本實驗提供了一種新的制作類反鐵電薄膜的方法，通過這種方法，能夠在任意成份比例的鐵電薄膜中實現(xiàn)薄膜的反鐵電特性，這種方法通過離子摻雜，在鐵電薄膜中形成一種穩(wěn)定的分布摻雜離子，通過電荷補償模式改變鐵電薄膜疇的翻轉特性。這種方法不僅提供了新的類反鐵電薄膜的制備方法，同時也能夠研究鐵電薄膜電疇翻轉的物理機制，在學術上有著重大的意義。實驗采用了多種方法研究離子注入下鐵電薄膜的反鐵電現(xiàn)象，通過XRD比較得到氫離子注入鐵電薄膜并沒有改變鐵電薄膜