熱解石墨柵極毛坯沉積工藝研究及應用.pdf

1、本文首先對熱解石墨材料的性能進行了討論，并就其在大功率、超大功率電子管中的應用作了分析，指出了熱解石墨作為柵極材料的優(yōu)越性能；然后通過試驗研究和討論，獲得了優(yōu)化的石墨柵極毛坯沉積工藝，完成了課題目標。
　　為了使旭光電子股份有限公司順利實現(xiàn)從熱解石墨柵極毛坯沉積到柵極成品的生產(chǎn)，本人作為工藝研究人員，對熱解石墨柵極毛坯沉積工藝進行了詳細、深入的研究。在本課題研究工作中，采用了丙烷有機碳氫化合物氣體和稀釋用氮氣、氬氣，在高溫1800

2、℃左右的真空條件下試驗研究了熱解石墨柵極毛坯的沉積。在研究過程中，試驗了在不同溫度下采用相同的氣體比例和流量沉積熱解石墨柵極毛坯；還試驗了在相同溫度下，采用不同的氣體比例、不同的流量沉積熱解石墨柵極毛坯；同時，試驗了在相同工藝條件下采用不同的稀釋氣體沉積石墨柵極毛坯；為了獲得厚度合適的石墨柵極毛坯，試驗了不同溫度下采用不同的沉積時間來沉積毛坯；對不同溫度下沉積的毛坯進行了X射線衍射分析、密度分析及晶相分析。通過大量試驗研究和生產(chǎn)實踐，摸

3、索并優(yōu)化出不同品種規(guī)格的石墨柵極毛坯沉積的氣體流量、沉積溫度、沉積壓強、沉積時間等參數(shù)，能夠順利地沉積出性能優(yōu)良的小型、大型的各類品種的石墨柵極毛坯，滿足了公司大功率及超大功率電子管的電參數(shù)要求，保證了新產(chǎn)品的成功開發(fā)。
　　生產(chǎn)實踐表明，熱解石墨柵極毛坯常見的缺陷有：開裂、分層、石墨瘤、碳黑夾雜等，其中開裂為主要廢品。分析發(fā)現(xiàn)，導致石墨柵極毛坯開裂的主要原因是毛坯厚度偏厚、毛坯尖角應力過大、殘余應力過大等。通過嚴格控制沉積工藝參