密集空穴孔陣玻璃基片載體材料的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、研究中運(yùn)用了XRD、SEM、FESEM等測(cè)試手段對(duì)基片樣品的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征，并結(jié)合了UV-Vis光譜分析、DSC/TG以及熱膨脹系數(shù)測(cè)試分析，探討了各因素對(duì)玻璃基片制備性能的影響。研究表明，選擇合適的Li2O-Al2O3-SiO2系統(tǒng)的玻璃組分，可以得到具有較好性能的光敏微晶玻璃，在合適的曝光和熱處理制度下，在曝光區(qū)域得到偏硅酸鋰微晶；UV曝光使用光掩模不同，曝光效果不同。采用濃度為5vol﹪HF酸和超聲波攪伴進(jìn)行酸刻蝕的最佳工藝條件。

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