半導(dǎo)體生產(chǎn)線預(yù)防性維修周期的研究.pdf

1、現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的加劇給半導(dǎo)體制造企業(yè)帶來(lái)了前所未有的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。半導(dǎo)體企業(yè)為了提高自身的競(jìng)爭(zhēng)力，將不得不考慮生產(chǎn)線設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)能力、生產(chǎn)成本，產(chǎn)品質(zhì)量以及供貨期和市場(chǎng)占有率的影響。設(shè)備預(yù)防性維修問(wèn)題的研究對(duì)于提高設(shè)備可靠度和整條生產(chǎn)線的利用率，降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本和加快企業(yè)對(duì)市場(chǎng)的反應(yīng)速度均具有重要意義，因而受到了廣泛的關(guān)注。 文章對(duì)“預(yù)防性維修周期”的制定進(jìn)行了深入的研究，列舉了制定預(yù)防性維修周期的三種方法，闡

2、述了在市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)下平均維修費(fèi)用最少的預(yù)防性維修周期的意義和必要性，研究了在離散情況下，預(yù)期故障次數(shù)與預(yù)防性維修周期的關(guān)系。 本文的預(yù)防性維修研究是在深入了解了半導(dǎo)體生產(chǎn)線的生產(chǎn)過(guò)程和生產(chǎn)特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，基于以可靠性為中心的維修理念，對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的預(yù)防性維修周期問(wèn)題進(jìn)行研究，建立了設(shè)備預(yù)防性維修的費(fèi)用模型，該模型綜合考慮了修復(fù)性維修成本、預(yù)防性維修成本和生產(chǎn)損失成本，并以故障分布形式為威布爾分布的設(shè)備為例，針對(duì)不同的維修策略，利用仿真的