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1、隨著Internet網(wǎng)絡(luò)的飛速發(fā)展,以密集波分復(fù)用(DWDM DenseWavelengthDivisionMultiplexing)技術(shù)為基礎(chǔ)的光通信網(wǎng)絡(luò)引起了人們極大的興趣.在DWDM系統(tǒng)中,陣列波導(dǎo)光柵(AWGArrayedWaveguide,Grating)是最具應(yīng)用前景的波分復(fù)用/解復(fù)用器,影響AWG器件性能的關(guān)鍵因素是它的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案和工藝制作過程.該論文對(duì)基于SOI材料的AWG器件的性能和各種工藝制作誤差之間的關(guān)系作了深入
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