基于AWG的2bit光延時(shí)集成器件的研究與制備.pdf

1、使用集成光學(xué)制備工藝的光波導(dǎo)延遲線的延時(shí)精度能夠達(dá)到亞皮秒量級(jí)，能夠滿足雷達(dá)對(duì)工作頻率越來越高的要求。而相對(duì)于無機(jī)材料而言，近年來有機(jī)聚合物光集成器件因其特有的優(yōu)勢(shì)，越來越成為熱門的研究課題。聚合物材料在制作光波導(dǎo)時(shí)，具有成膜性好，剪裁性和加工性強(qiáng)，以及與襯底的兼容性高的優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)，在光的損耗，折射率的控制，熱穩(wěn)定性等性能方面的實(shí)驗(yàn)和進(jìn)展表明，聚合物將成為低成本，高性能的光集成器件的基礎(chǔ)材料。
　　本論文首先對(duì)平板光波導(dǎo)理論以及陣

2、列波導(dǎo)光柵的工作原理進(jìn)行了詳細(xì)的研究。并以光波導(dǎo)理論和光的耦合模理論為基礎(chǔ)，根據(jù)AWG的工作原理和各參數(shù)特性。設(shè)計(jì)出了工作于通信波長(zhǎng)的1×8陣列波導(dǎo)光柵，并用Rsoft軟件進(jìn)行了模擬和參數(shù)的優(yōu)化。然后根據(jù)制作所需的流程，對(duì)制備工藝進(jìn)行了詳細(xì)的探究和分析，得出了完整的工藝流程和參數(shù)。選用了ZPU13系列的有機(jī)聚合物作為波導(dǎo)的芯層和包層材料。制備出了波長(zhǎng)間隔1.6nm的1×8陣列波導(dǎo)光柵并進(jìn)行了測(cè)試。測(cè)試結(jié)果表明器件成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)中心波長(zhǎng)為1