低損耗薄膜背散射積分測(cè)試儀的研究.pdf

1、在激光陀螺中，高反射膜片的背向散射會(huì)使激光陀螺鎖區(qū)增加，降低激光陀螺的精度及影響其正常工作。為了保證激光陀螺正常工作，除了盡量降低散射材料的吸收損耗，還必須降低反射膜的背向散射。通過測(cè)量高反鏡的背向散射，可以建立光散射分布特征與表面粗糙度的關(guān)系，從而評(píng)價(jià)薄膜的質(zhì)量，確定高反鏡的性能，同時(shí)可以指導(dǎo)薄膜的設(shè)計(jì)和制備。 低損耗薄膜積分背散射測(cè)試儀正是為測(cè)量激光陀螺諧振腔內(nèi)腔鏡的背向散射而設(shè)計(jì)的非接觸自動(dòng)化測(cè)量?jī)x器，其在全積分散射(TI

2、S)測(cè)試?yán)碚摷傲Ⅲw角積分散射測(cè)量原理的理論基礎(chǔ)上，建立了一套二維掃描光散射分布的自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。該儀器包括光學(xué)結(jié)構(gòu)，光電轉(zhuǎn)換和檢測(cè)以及測(cè)量控制軟件三部分。 本文主要對(duì)光學(xué)機(jī)械部分進(jìn)行了設(shè)計(jì)，具體分為以下五個(gè)方面：完成了9個(gè)部件的結(jié)構(gòu)及一套差動(dòng)齒輪機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)；確定了積分球和陷光器的相關(guān)尺寸；計(jì)算了激光傳輸過程中的光斑大小，分析了選擇陷光器吸光的原因，并且比較了選擇陷光器和沒有選擇陷光器時(shí)的測(cè)量結(jié)果；依據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)確定了陷光器內(nèi)壁涂層的