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1、 本文首先分析了復(fù)介電常數(shù)的常用測(cè)試方法,基于高Q腔法原理,采用一腔多模技術(shù),設(shè)計(jì)了寬頻帶測(cè)試腔,組建了寬頻帶測(cè)試系統(tǒng),利用自動(dòng)測(cè)試軟件,完成對(duì)測(cè)試儀器的程控和復(fù)介電常數(shù)的計(jì)算。最后利用研制的測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試軟件對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試,得到了所測(cè)試材料的復(fù)介電常數(shù)。分析了薄樣品的測(cè)試方法。本文還進(jìn)行了測(cè)試誤差分析。根據(jù)測(cè)試原理確定誤差源,通過(guò)誤差理論分析,得到綜合誤差。通過(guò)測(cè)試結(jié)果及理論分析表明,測(cè)試系統(tǒng)能達(dá)到的技術(shù)指標(biāo)及測(cè)試誤差分別為:測(cè)
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