基于微光機(jī)電系統(tǒng)的微光學(xué)自適應(yīng)微鏡的研究.pdf

1、傳統(tǒng)自適應(yīng)光學(xué)利用大鏡面的形變等方法來實(shí)時(shí)校正因大氣擾動(dòng)等原因所引起的波前畸變，從而獲得清晰成像。但由于單元變形鏡面大，控制復(fù)雜，額外增加系統(tǒng)的體積、重量和功耗，已無法滿足現(xiàn)代航空航天領(lǐng)域中小型化的要求。微光學(xué)自適應(yīng)系統(tǒng)是微結(jié)構(gòu)光學(xué)與傳統(tǒng)光學(xué)融合的新型微光學(xué)系統(tǒng)，以最小的體積與輕巧的結(jié)構(gòu)，實(shí)時(shí)校正波前及相差，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜環(huán)境下清晰成像。隨著微光機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，單元尺寸為微米級(jí)的微變形鏡陣列的制作已成為可能。將它們應(yīng)用于氣動(dòng)光學(xué)校正中，則可實(shí)

2、現(xiàn)系統(tǒng)的輕小型化及低功耗，且成本低，適合批量生產(chǎn)。 本文提出了一種基于微光機(jī)電技術(shù)的可調(diào)焦微光學(xué)自適應(yīng)微反射鏡。可調(diào)焦微反射鏡基于“雙金屬效應(yīng)”，利用熱應(yīng)力改變鏡面曲率，從而形成變焦。與傳統(tǒng)自適應(yīng)微反射鏡相比，采用該原理制作的可調(diào)焦微反射鏡具有驅(qū)動(dòng)電壓低和驅(qū)動(dòng)力較大的優(yōu)點(diǎn)，而且制作簡(jiǎn)單。以硅為基底進(jìn)行了表面熱氧化、光刻顯影、HF酸刻蝕、KOH濕法刻蝕，蒸鍍鋁膜等微加工工藝的研究。獲得硅鋁雙金屬可調(diào)焦微反射鏡4×4陣列，單元尺寸3