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1、p|7，I大學(xué)碩士學(xué)位論文題目堡差芷邀墮塑劍笠塑盤鱟垂簽作者型魚完成日期：蘭QQ墨生墨旦!Q目培養(yǎng)單位望刖盤堂指導(dǎo)教師疊壅鏖絲撞專業(yè)堂鱟研究方向出墊焦量絲墨授予學(xué)位日期——年——月——日作過程進(jìn)行了模擬。在掩模優(yōu)化方面，提出了將預(yù)校于和邊緣增強(qiáng)法相結(jié)合的優(yōu)化方法，以補(bǔ)償成像過程及曝光顯影過程中非線性因素引起的制作偏差。最后給出r模擬結(jié)果，證明Tq用誤差擴(kuò)散法編碼灰階掩模制作微光學(xué)冗件的可行。|生。關(guān)鍵詞：灰階編碼掩模，誤差擴(kuò)散法，邊緣增
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