特殊環(huán)境下微小摩擦力測試儀的研制與開發(fā).pdf

1、20世紀后半葉，隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)和微制造技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了微型機電系統(tǒng)(MEMS)，并且迅速成為當今最有生命力和最具發(fā)展前景的機械科學研究的前沿領域。 微機電系統(tǒng)界面之間的摩擦屬于微觀摩擦范圍，其加載通常在微牛和毫牛之間，這是一個介于宏觀和微觀測量范圍之間的一個量。一方面，現(xiàn)有的設備不是測量時加載的力過大(如環(huán)塊銷盤實驗機)，就是加載的力過小(如AFM原子力顯微鏡)，而沒有適合這一測量范圍的標準化測試儀器；另一方面，現(xiàn)有的

2、設備不能較準確地反映微機械的實際工況，如速度、溫度和濕度等環(huán)境條件對摩擦性能的影響，對于其微觀摩擦特性也就不能有一個較全面的認識?；谝陨系姆治龊涂紤]，需要自行研制微小摩擦測試儀，這不僅能為研究微機電系統(tǒng)材料的摩擦特性提供一種工具，而且能在微觀、宏觀摩擦之間架起一道橋梁，使得兩者能夠相互結(jié)合，促進摩擦學的發(fā)展，為微機械設計和制造提供理論基礎。 本文正是在應用計算機輔助摩擦磨損試驗的基礎上，結(jié)合智能儀器對微小摩擦力測試儀進行在線檢