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1、少數(shù)載流子壽命(簡(jiǎn)稱少子壽命)是半導(dǎo)體材料的一項(xiàng)重要參數(shù),它對(duì)半導(dǎo)體器件性能、太陽(yáng)電池效率都有重要的影響。日益發(fā)展的光伏新能源迫切需要在實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)利用少子壽命來(lái)檢測(cè)太陽(yáng)電池原材料、監(jiān)測(cè)太陽(yáng)電池生產(chǎn)工藝。為了滿足光伏電池設(shè)計(jì)、生產(chǎn)的不斷需要,在國(guó)家863項(xiàng)目《薄膜太陽(yáng)電池測(cè)試平臺(tái)》的支持下,對(duì)基于太陽(yáng)電池材料少子壽命的測(cè)試進(jìn)行調(diào)查和研究,并自主研制開(kāi)發(fā)少子壽命測(cè)試儀。論文第二章將會(huì)闡述過(guò)剩少數(shù)載流子的產(chǎn)生機(jī)理和復(fù)合機(jī)理,復(fù)合機(jī)理包
2、括直接輻射復(fù)合、直接俄歇復(fù)合、通過(guò)體內(nèi)復(fù)合中心的間接復(fù)合、通過(guò)表面復(fù)合中心的間接復(fù)合,對(duì)于太陽(yáng)電池材料,測(cè)量有效壽命可以歸結(jié)為體壽命和表面復(fù)合的影響。少子壽命的測(cè)試方法有很多種,本文重點(diǎn)研究的是微波反射光電導(dǎo)衰減法,其最大特點(diǎn)是可以非接觸、無(wú)損地測(cè)量樣品的少子壽命。采用微波反射光電導(dǎo)衰減法研制開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體材料少子壽命測(cè)試儀,在論文第三章將詳細(xì)介紹測(cè)試儀的研制開(kāi)發(fā)過(guò)程。利用脈沖激光源系統(tǒng)、微波系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)三部分搭建的測(cè)試硬件平臺(tái),能
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