IC晶片缺陷檢測(cè)的數(shù)字圖像去噪和分割改進(jìn)算法.pdf

1、本文來(lái)源于廣東省2004年科技計(jì)劃項(xiàng)目“基于數(shù)字圖像處理的IC晶片顯微自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)”（2004A10403008），項(xiàng)目采用數(shù)字圖像處理技術(shù)對(duì)IC晶片檢測(cè)取得了一定的成果，本論文在此基礎(chǔ)上主要從IC晶片顯微圖像噪聲的干擾濾除算法、滿足圖像處理實(shí)時(shí)性要求的濾波IP核設(shè)計(jì)、目標(biāo)區(qū)域圖像精確分割以及小島缺陷特征提取等方面進(jìn)行理論分析和應(yīng)用設(shè)計(jì)，綜合應(yīng)用了嵌入式、數(shù)字圖像處理及模式識(shí)別等方面的技術(shù)。 論文針對(duì)當(dāng)前IC晶片顯微圖像在采集過(guò)

2、程中噪聲污染嚴(yán)重，對(duì)IC晶片顯微圖像后續(xù)處理造成極大障礙的問(wèn)題，設(shè)計(jì)了IC晶片顯微圖像噪聲濾除的算法。綜合了影響IC晶片顯微圖像各種噪聲的特點(diǎn)及各種去噪算法的優(yōu)缺點(diǎn)，通過(guò)理論分析與試驗(yàn)得出改進(jìn)的SUSAN濾波算法在IC晶片顯微圖像噪聲濾除中有極大的優(yōu)勢(shì)，即改進(jìn)的SUSAN濾波算法不但能有效地濾除噪聲，并且能有效地保持圖像的結(jié)構(gòu)信息。 針對(duì)IC晶片顯微圖像傳統(tǒng)采集方式速率低，不能滿足實(shí)時(shí)性要求的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了基于FPGA的IC晶片顯

3、微圖像IP核濾波器。此IP核濾波器實(shí)現(xiàn)了具有保留邊緣信息的改進(jìn)的SUSAN去噪算法。通過(guò)試驗(yàn)，IP核濾波器在速度和性能上都有較大幅度的提升，能夠滿足系統(tǒng)實(shí)時(shí)性要求。 在分析對(duì)比目前廣泛使用的各種圖像分割算法的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了基于改進(jìn)的Otsu算法的IC晶片顯微圖像精確分割算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)顯微圖像中目標(biāo)與背景的精確分割；在此基礎(chǔ)上，對(duì)分割后的圖像利用改進(jìn)的SUSAN算子缺陷邊緣提取算法提取邊緣；通過(guò)已提取的IC晶片顯微邊緣圖像，可以得到