化學沉積稀土Co-Fe-B合金薄膜工藝和電化學性能的研究.pdf

1、本文研究了化學沉積稀土Co-Fe-B合金薄膜工藝和電化學性能。采用正交實驗法設計并驗證了化學沉積Co-Fe-B合金工藝的基礎配方和最佳配方，考察了鍍液電化學性能，鍍液各組分對合金沉積速度的影響及合金鍍層的組織結構和微觀形貌；在化學沉積Co-Fe-B工藝最佳配方基礎上添加不同種類稀土元素，考察稀土在鍍液中對電化學性能及沉積速度的影響，探討含稀土Co-Fe-B合金的共沉積機制及稀土對合金鍍層工藝、組織結構和性能的作用機理和影響方式，以期獲得

2、綜合性能優(yōu)異的化學沉積鈷基合金軟磁薄膜。結果表明：鈷鐵離子是以共沉積形式進入鍍層的，鈷鐵離子共沉積的極化度比離子單獨沉積??；酒石酸鈉濃度增加對氧化還原反應有促進作用，乙二胺濃度的增加，對硼氫化鈉氧化的促進作用，對絡離子還原反應有阻礙作用，亞硒酸濃度較低時，對還原反應有促進作用，較高時，有阻礙作用，對陽極氧化反應正好作用相反；稀土元素在絡合劑和基體材料作用下，析出電位正移；稀土加入鍍液中，減小了陰極極化曲線的極化度，提高了沉積速度；成分分