已閱讀1頁，還剩123頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、為了提高硅基無源器件的射頻/微波特性,已經(jīng)提出了許多方法,其中包括:使用高電阻率(≥3000Ωcm)的硅襯底來獲得與低損耗的半絕緣GaAs材料相似的性能,但在高阻硅襯底上采用現(xiàn)有的CMOS工藝不能實現(xiàn)有源電路;將無源器件下的低阻硅襯底腐蝕成小槽,可以消除低阻硅襯底帶來的不良影響,但同時腐蝕增加了工藝成本,而且加工難度較大;使用離子注入技術(shù)將低阻硅的晶格錯位形成一高阻層,可以減少低阻硅襯底的損耗,但其工藝非常復(fù)雜;還有諸如插入一層厚介質(zhì)膜
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 低損耗微波鐵氧體材料及其應(yīng)用研究.pdf
- 低損耗磁介材料及在天線中的應(yīng)用研究.pdf
- 左手材料在射頻微波器件中的應(yīng)用.pdf
- 硅基薄膜在新型器件中的應(yīng)用.pdf
- PBSZT低損耗壓電陶瓷材料及其功率器件制備技術(shù)的研究.pdf
- 低損耗石榴石鐵氧體材料及其在環(huán)行器中的應(yīng)用研究.pdf
- 新型人工電磁材料在微波器件中的應(yīng)用.pdf
- 低損耗YIG材料的制備及其在環(huán)行器中的應(yīng)用.pdf
- 低損耗微波調(diào)諧鐵電材料的研究.pdf
- 新型低損耗微結(jié)構(gòu)太赫茲光纖器件研究.pdf
- 低損耗太赫茲光纖及其功能器件的研究.pdf
- 低損耗YAlIG的制備及其在環(huán)行器中的應(yīng)用.pdf
- 低損耗微波開關(guān)用GeTe薄膜相變材料研究.pdf
- 低損耗光子晶體光纖設(shè)計及其在DWDM系統(tǒng)中的應(yīng)用.pdf
- 人工電磁材料的研究及其在微波器件中的應(yīng)用.pdf
- 硅基反鐵電厚膜材料集成制造及其性能測試.pdf
- 光學(xué)微納米線的低損耗粘合及器件應(yīng)用.pdf
- 低損耗復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷的研究.pdf
- 釩酸鹽基低損耗微波介質(zhì)陶瓷的制備與性能研究.pdf
- 硅基模式相關(guān)器件及其在多維復(fù)用系統(tǒng)中的應(yīng)用.pdf
評論
0/150
提交評論