難加工材料激光與化學(xué)復(fù)合刻蝕加工的研究.pdf

1、激光與化學(xué)復(fù)合刻蝕加工是一種將激光加工和化學(xué)腐蝕相結(jié)合的復(fù)合加工方法，它利用激光能量燒蝕材料，同時經(jīng)過激光加熱的腐蝕液對加工表面進行腐蝕加工，具有較高的加工效率并可獲得較好的加工表面質(zhì)量。 本文在利用Nd：YAG脈沖激光器、采用無機酸作為腐蝕液對幾種難加工材料進行激光與化學(xué)復(fù)合刻蝕加工試驗的基礎(chǔ)上，比較系統(tǒng)地研究了復(fù)合加工的加工工藝與機理。主要研究內(nèi)容如下： (1)系統(tǒng)研究了激光工藝參數(shù)和腐蝕液參數(shù)對復(fù)合加工蝕除量和表面

2、質(zhì)量的影響規(guī)律：激光能量和脈沖寬度越大，加工蝕除量越大，加工表面越粗糙；掃描速度越慢，加工蝕除量越大，加工表面越平整；重復(fù)頻率增大，加工蝕除量先增大后減小，加工表面質(zhì)量不斷提高。腐蝕液濃度越高、流速越快，加工蝕除量越大，加工表面質(zhì)量越高。 (2)分析并仿真了復(fù)合加工中各物理過程的模擬圖；對復(fù)合加工表面進行能譜分析，根據(jù)其成分能譜曲線分析研究不同材料在不同腐蝕液下復(fù)合加工的化學(xué)反應(yīng)過程：對同種材料在不同腐蝕液下復(fù)合加工和不同材料在