微波法制備AlN材料的研究.pdf

1、A1N陶瓷是新一代半導體基片材料和理想的半導體封裝材料，但要制備出綜合性能優(yōu)良的A1N陶瓷，關(guān)鍵之一是要合成出高純度、細粒度、粒度分布窄、性能穩(wěn)定的A1N粉末。在現(xiàn)有技術(shù)條件下難以低成本的合成出優(yōu)質(zhì)的A1N粉末，這極大的限制了A1N陶瓷材料的廣泛應(yīng)用。 微波加熱具有許多常規(guī)加熱難以實現(xiàn)的優(yōu)點，如高能效、無污染、燒結(jié)溫度低、材料的顯微結(jié)構(gòu)均勻、能獲取特殊結(jié)構(gòu)或性能的材料等。微波加熱具有極好的發(fā)展應(yīng)用前景，微波能也正在成為一種極具吸

2、引力的未來陶瓷工業(yè)的優(yōu)越能源之一。 本研究對微波Al粉直接氮化影響因素進行詳細的研究，對微波碳熱還原法合成A1N粉末影響因素進行具體的研究，具體的研究微波燒結(jié)環(huán)境對A1N陶瓷燒結(jié)的影響，得出了常壓下微波Al粉直接氮化、微波碳熱還原法合成A1N粉末與微波燒結(jié)A1N陶瓷的最佳工藝參數(shù)，得出了令人滿意的實驗結(jié)果，以及得出了微波Al粉直接氮化、微波碳熱還原法合成A1N粉末與微波燒結(jié)A1N陶瓷的反應(yīng)作用機理，填補了國內(nèi)外在微波Al粉直接氮

3、化、微波碳熱還原法合成AIN粉末與微波燒結(jié)AIN陶瓷研究工作上的空白。 具體的研究內(nèi)容包括對微波Al粉直接氮化影響因素進行研究，對微波碳熱還原法合成A1N粉末影響因素進行研究，以及微波燒結(jié)A1N陶瓷的工藝研究。其中重點是研究微波碳熱還原法合成A1N粉末的影響因素，包括原料氧化鋁和碳黑的粒度對微波合成的影響，C／A1203質(zhì)量比、裝燒材料、升溫速率、反應(yīng)溫度、保溫時間等對微波合成A1N粉末的影響，以及探討了在微波環(huán)境下碳熱還原法合