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文檔簡(jiǎn)介
1、光聲法檢測(cè)痕跡氣體濃度,是一種具有高選擇性,高靈敏度,高穩(wěn)定性的氣體檢測(cè)方法。圍繞著光聲腔MEMS化的目標(biāo),本文研制了一種高靈敏度小型化的諧振式紅外光聲氣體傳感系統(tǒng)。
設(shè)計(jì)的小型化諧振式紅外光聲氣體傳感系統(tǒng),采用一維縱向諧振模式的諧振腔,四分之一波長(zhǎng)聲過濾器以及Brewster窗結(jié)構(gòu)。該系統(tǒng)檢測(cè)靈敏度高,可以測(cè)出20ppb乃至更低濃度的乙烯氣體。
本文研究了光聲信號(hào)和相位延遲的關(guān)系,比較了三種不同的信號(hào)提取方法,從而
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