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文檔簡介
1、本文介紹了一種熱膜式氣體流量傳感器，該傳感器芯片為平薄膜結(jié)構(gòu)，加熱電阻在敏感芯片的中間;加熱電阻的兩端各有一個測溫?zé)崦綦娮瑁壹訜犭娮韬蜏y溫?zé)崦綦娮柙诟g出來的矩形薄膜中部。在非薄膜的硅襯底上制作三個相同材料的控制電阻，應(yīng)用在信號處理電路中來實現(xiàn)發(fā)熱控制和溫度補償功能。采用理論模擬和實驗相結(jié)合的方法對該種微傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化和驗證。首先，本課題利用ANSYS等軟件對流量傳感器芯體進(jìn)行建模并對結(jié)構(gòu)表面溫度場模擬分析。再采用MEMS工藝
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