基于MEMS技術(shù)的熱式風(fēng)速傳感器研究.pdf

1、風(fēng)速傳感器被廣泛應(yīng)用于人民日常生活和國(guó)民經(jīng)濟(jì)各個(gè)領(lǐng)域,是發(fā)展工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、自動(dòng)化控制、氣象探測(cè)等必不可少的重要工具。熱式風(fēng)速傳感器以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)始終受到國(guó)內(nèi)外研發(fā)人員的關(guān)注。圍繞器件的性能提高,在熱式風(fēng)速傳感器的工作方式、測(cè)量原理、器件結(jié)構(gòu)、材料選取等方面不斷有新的發(fā)展和突破。
　　本文在對(duì)熱式風(fēng)速傳感器的線性、動(dòng)態(tài)響應(yīng)等特性進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上，研究并設(shè)計(jì)制造了一種新型結(jié)構(gòu)的MEMS熱式風(fēng)速傳感器。介紹了結(jié)構(gòu)方面的設(shè)計(jì)、構(gòu)建

2、了實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ汀⒉?duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了分析。提供了從電路方面進(jìn)行溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?。探討了影響傳感器響?yīng)時(shí)間的因素,并說(shuō)明如何控制這些因素提高產(chǎn)品的快速響應(yīng)能力。確定熱式風(fēng)速傳感器的工藝參數(shù),還有基于MEMS加工技術(shù)的風(fēng)速傳感器的工藝方法,介紹了關(guān)鍵工藝過(guò)程和控制措施。通過(guò)恒溫工作狀態(tài)與恒壓工作狀態(tài)下的比較,詳細(xì)介紹了數(shù)學(xué)模型構(gòu)建與可靠性設(shè)計(jì)的有效方法。該傳感器的敏感部分采用的是微懸橋結(jié)構(gòu),微懸橋靈敏度高、功耗較小、熱容也比較小。本文對(duì)研制的新型結(jié)