精細洗凈技術在TFT-LCD制造中的應用研究.pdf

1、2000年以后國內的TFT-LCD產業(yè)進入了高速發(fā)展的階段，竟爭也越來越激烈，提高產品合格率越來越成為TFT-LCD制造企業(yè)生存的關鍵。在TFT-LCD制造工程中各種污染物一直是造成產品不良的最重要原因，所以在生產過程中如何最大限度的降低各類污染物的數量便成為眾多TFT-LCD制造廠商所面臨的一個難題。本文以工程生產實際為背景，通過參考大量中外資料，介紹和分析了TFT-LCD制造過程中各種精細洗凈技術工藝及其應用，并從中研究出了幾種常用

2、的精細洗凈技術的最優(yōu)工藝條件，以及如何應用各種精細洗凈技術以實現最佳洗凈效果的課題成果。 本文首先對TFT-LCD的制造工藝流程、精細洗凈技術在制造過程中的重要性、TFT-LCD制造中的主要污染源及其引起的不良進行了介紹。其次對常用的精細洗凈技術的洗凈原理、洗凈對象以及使用時的注意事項進行了詳細的分析和介紹，同時也對干燥冷卻技術和洗凈效果的評價方法也進行了簡單介紹。最后，為了得到最佳的洗凈效果，通過大量采集試驗數據，然后進行分析

3、，然后再試驗、再分析……經過幾個階段的大量數據采集和分析研究，取得了以下成果： ①得出了UV洗凈、Brush洗凈、高壓噴射洗凈（含CJ洗凈）和超聲波洗凈的最優(yōu)工藝條件，以及取得最優(yōu)工藝條件的方法和途徑； ②得出了大中小各種尺寸附著粒子的最佳洗凈手段：brush洗凈+高壓噴射洗凈+超聲波洗凈； ③得出了有機物的最佳洗凈手段：brush洗凈+化學藥液+高壓噴射洗凈+UV洗凈； ④得出了無機污染物（主要