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文檔簡介
1、FeCoSiB薄膜由于具有優(yōu)良的磁彈性能而受到了人們的廣泛關(guān)注.本文針對FeCoSiB薄膜材料的應(yīng)力敏感特性,從理論和實驗上研究了FeCoSiB薄膜材料的應(yīng)力阻抗效應(yīng),并研究了FeCoSiB薄膜在磁場可調(diào)平面薄膜電感中的應(yīng)用.理論上,本文從Landau-Lifshitz-Gilbert方程和Maxwell方程出發(fā),推導了磁彈性薄膜在外加應(yīng)力下高頻有效磁導率和阻抗的表達式,計算了不同參數(shù)如膜厚、殘余應(yīng)力、磁各向異性、飽和磁化強度對薄膜應(yīng)力
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