S波段MCM四位數(shù)字移相器設計及工藝技術研究.pdf

1、相控陣雷達在軍事，航空航天，氣象探測，通信等領域應用很廣泛。相控陣雷達中的移相器用于控制天線陣中各路信號的相位，可使輻射波束進行快速掃描，對多目標進行搜索，是雷達的心臟。本論文主要是研究S波段四位數(shù)字移相器設計和生產(chǎn)工藝。
　　移相器是相控陣雷達T/R組件的關鍵部件，其精度、尺寸和重量都受到嚴格的控制。制作出體積小、重量輕、成本低、性能良好的T/R組件是發(fā)展的需要。隨著相控陣雷達在星載和機載系統(tǒng)中得到日益廣泛的應用，這種需要顯得尤

2、為必要和迫切。本文采用多芯片模塊電路（MCM）技術，實現(xiàn)了S波段四位數(shù)字移相器，在技術指標與傳統(tǒng)混合集成電路方式相當?shù)那闆r下，其體積減小2/3，重量減小1/2。
　　論文從數(shù)字移相器基本理論展開，綜合討論了各種類型的微帶PIN管數(shù)字移相器，然后結合工藝，針對開關線型PIN數(shù)字移相器進行研究。分析了引起移相器損耗的各種原因，通過仿真軟件進行設計優(yōu)化，并建立了PIN二極管芯片、電感、電容、金絲、金帶等材料和元器件考慮封裝的模型。

3、>　　在工藝選型上先是利用成熟工藝實現(xiàn)，即MCM_D陶瓷基片+多層聚酰亞胺薄膜方案。此方案從薄膜微帶傳輸線研究開始，到螺旋電感的結構設計、仿真，再到MCM_D工藝可靠性研究，至移相器部件的測試數(shù)據(jù)分析比較，產(chǎn)生結論，形成了一個完整的設計過程。
　　然后根據(jù)上述設計過程，對MCM-C低溫共燒陶瓷工藝方案展開研究。本課題研究中選用LTCC介質(zhì)材料為Ferro一A6S,通過大量實驗得到了LTCC工藝的S波段四位數(shù)字移相器組件，指標達到要